Können wir die Geburt einer dünnen Schicht Atom für Atom sehen? Diese Forschung leistet Pionierarbeit mit einem modifizierten Transmissionselektronenmikroskop (TEM), um die Anfangsstadien des Dünnschichtwachstums durch Ionenstrahlzerstäubung zu beobachten. Der Schwerpunkt liegt auf dem Verständnis der grundlegenden Prozesse, die steuern, wie sich dünne Schichten bilden, wobei Silber als primäres untersuchtes Material dient. Die Studie beschreibt die Modifizierung eines kommerziellen TEM, um eine *In-situ*-Beobachtung zu ermöglichen. Silber, Silizium und Niob wurden auf verschiedene Substrate, darunter Kohlenstoff, Glimmer und Graphit, gesputtert. Während sich das Silberwachstum auf Kohlenstoff aufgrund der Bildung abnormaler Inseln als schwierig zu quantifizieren erwies, wurden auf Glimmer und Graphit reproduzierbarere Ergebnisse erzielt. Trotz der Variationen im Substrat stellte die Studie fest, dass sputterabgeschiedene Silberfilme ähnliche Keimbildungs- und frühe Wachstumsmerkmale wie aufgedampfte Filme aufweisen. Vorläufige Ergebnisse zum Silizium- und Niobwachstum werden ebenfalls vorgestellt, was Wege für weitere Untersuchungen anderer Materialien eröffnet. Diese Arbeit legt den Grundstein für eine präzise Kontrolle der Dünnschichteigenschaften durch ein tieferes Verständnis ihrer Bildungsmechanismen.